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      咨詢熱線

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      當前位置:首頁   >  產品中心  >  光學顯微鏡  >  激光共聚焦顯微鏡  >  NS3500 L大面積高速3D激光掃描儀

      大面積高速3D激光掃描儀

      簡要描述:NS-3500大面積高速3D激光掃描儀是一種準確、可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

      • 產品型號:NS3500 L
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2021-09-24
      • 訪  問  量:2008

      詳細介紹

      NS-3500L大面積高速3D激光掃描儀是一種準確、可靠的大面積高速3D激光掃描儀。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

      Features & Benefits(性能及優勢):

      高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

      實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

      多種光學變焦                                                 雙Z掃描

      大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

      實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

      自動聚焦

      Application field(應用領域):

      NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

      可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

      -半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

      - FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

      - MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

      -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

      -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析




      Specification(規格):

      Model

      Microscope  NS-3500

      備注


      Controller    NS-3500E

      物鏡倍率

      10x

      20x

      50x

      100x

      150x


      觀察/  測量范圍  

      水平 (H): μm

      1400

      700

      280

      140

      93


      垂直 (V): μm

      1050

      525

      210

      105

      70


      工作范圍: mm

      16.5

      3.1

      0.54

      0.3

      0.2


      數值孔徑(N.A.)

      0.30

      0.46

      0.80

      0.95

      0.95


      光學變焦

      x1 to x6


      總放大倍率

      178x to 26700x


      觀察/測量光學系統  

      針孔共聚焦光學系統


      高度測量

      測量掃描范圍

      精細掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S]


      長掃描 : 10mm [NS-3500-T]

      顯示分辨率

      0.001 μm


      重復率 σ

      0.010 μm

      注 1

      寬度測量

      顯示分辨率

      0.001 μm


      重復率 3σ

      0.02 μm

      注 2

      幀記憶

      像素

      1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


      單色圖像

      12 bit


      彩色圖像

      8-bit for RGB each


      高度測量

      16 bit


      幀速率

      表面掃描

      20 Hz to 160 Hz


      線掃描

      ~8 kHz


      自動功能

      自動增益


      激光共焦測量光源

      波長

      405nm


      輸出

      ~2mW


      激光等級

      Class 3b


      激光接收元件

      PMT (光電倍增管)


      光學觀察光源

      10W LED


      光學觀察照相機

      成像元件

      1/2" 彩色圖像 CCD 傳感器


      記錄分辨率

      640x480


      自動調整

      增益, 快門速度, White balance


      數據處理單元

      PC


      電源

      電源電壓

      100 to 240 VAC, 50/60 Hz


      電流消耗

      500 VA max.


      重量

      顯微鏡

      Approx. ~50 kg

      (Measuring head unit : ~12 kg)


      控制器

      ~8 kg



      注 1 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(步長1μm)進行100次測量                                                                  

      注 2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(5μm間距)進行100次測量。





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